四氟化碳99.999%(5n)高纯四氟化碳气体-凯发k8国际首页登录

纽瑞德特气高纯四氟化碳相关参数

---

  产品名称:四氟化碳 四氟化碳气体 四氟甲烷 全氟化碳
  产品等级：分析纯
  产品纯度：99.999%
  包装规格：40l
  英文名称:carbon tetrafluoride
  英文别名:tetrafluoromethane
  cas:75-73-0
  einecs:200-896-5
  分子式:cf4
  分子量:88
  物化性质:- 熔点:-184℃

高纯四氟化碳充装标准

---

四氟化碳产品用途

---

  四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。

  1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用cf4-h2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。

  2. 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

  3. 由于化学稳定性极强，cf4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

  4. 四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。

 

四氟化碳合成方法

---

  1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反 应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、 碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。

 

  2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔 合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气 体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。

 

  3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和 反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去hf、cof2、sif4、co2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进 行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去o2、n2、h2，得到高纯cf4。

 

四氟化碳贮存注意事项

---

  1. 气瓶使用和检验遵照国家质量技术监督局《气瓶安全监察规程》的规定。

  2. 气瓶不得靠近火源，不得受日光曝晒，与明火距离一般应该不小于10米，气瓶不得撞击。

  3. 气瓶的瓶子严禁沾染油脂。

  4. 气瓶内的气体不能全部用尽，应该留不小于0.04mpa剩余压力。

 

 

特种气体品质保证——选择放心!

○ 源头控制：纽瑞德直接进口原装气体产品，并附有原厂检测报告
○ 渠道控制：美国特种气体公司中国指定经销商，已经达成长期独有的合作关系
○ 分析控制：引进美国先进的检测分析设备，对纯度检测有资深专家团队支持
 

10年专注特种气体供应——品牌保证!

○ 23年前公司创办人员开始从事气体行业，经过在气体行业巨头10余年的历练，07年成立纽瑞德公司。
○ 10年来纽瑞德供应特种气体之高纯氦气、六氟化硫、四氟化碳及氯化氢等特种气体，并在国内外享有盛誉。
○ 通过23年与国内外特种气体供应商的交流与合作，纽瑞德公司再创佳绩!
 

全程控制安全——购买安心!

○ 钢瓶选择：充装钢瓶为中国第一大钢瓶厂，保证钢瓶质量。
○ 钢瓶气密性检测：钢瓶严格瓶瓶检验，保证钢瓶气密性良好。
○ 运输安全：自备专车货运及专业物流公司保证运输安全。
○ 使用安全：提供现场使用安全咨询。
 

完善的凯发一触即发的售后服务体系——使用贴心!

○ 产品齐全，大量库存现货供应，及时发货!
○ 自有运输专车及数10家大型物流相结合，送货上门，售后跟踪一条龙服务!
○ 拥有资深技术人员提供用气咨询、供气设计凯发k8国际首页登录的解决方案、配套设备一应俱全!

  武汉纽瑞德特种气体有限公司

  400电话：400-6277-838
  电话：86-027-82652715
  邮编：430010
  地址：湖北省武汉市洪山区松竹路万达环球国际中心3号楼1401室