六氟化硫以其高的电阻和良好的热稳定性被广泛应用于高压电气设备中。六氟化硫的化学性质极为稳定。纯六氟化硫气体无毒，但在大电流下，由于电弧放电强烈，可产生低硫、低氟化合物。这些物质反应性很强。当有水和氧气时，它们会与电极材料和水发生更多的反应，分解它们，产生有毒或剧毒气体。这些有毒气体主要危害人体呼吸系统。中毒后可能出现感冒、皮肤过敏、恶心、呕吐、疲劳等不良反应，吸入剂量越大，后果越严重。
因此，在对sf6设备进行维护和测试时，应采取以下保护措施：
(1) 工作场所应通风良好，维修人员应处于迎风位置；
(2) 戴防毒面具和防护手套；
（3） 回收不适合直接排入大气的排放气体或通过管道排放到下水道；
(4) 休息前或工作后，用肥皂和大量水彻底清洗面部、颈部、手臂和手；
(5) 如果意外接触大量气体，应立即清洗和更换衣服，并送往医院进行观察和治疗。
