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水分对sf6气体和sf6设备的影响：
含水量较高的sf6气体，很多的化合物，诸如wo2、sof4、so2f2、so2等，会在电弧作用下产生，那些化合物都属于有害有毒物质，伴随着水分的增加，其中的sof2、so2的含量也会相应增加，且和其增加的水分发生一些反应，从而生成wo2、hf、h2so3等等的新的有害物质，从而进一步造成对设备的危害。
sf6气体在常温下是很稳定的，温度低于500℃时也不会自行进行分解，但是当水分的含量比较高的时候，温度高于200℃的时候便有可能会有水解反应的发生，生成hf、h2so3、sof2以及so2f2这样的有害有毒杂质，在所有酸当中，腐蚀性最强的当属hf。
hf对于绝缘材料以及金属材料的腐蚀性是非常大的，其强大的腐蚀性对于电瓷和玻璃也不例外，而且还会对人体产生一定的危害，其在环境温度较低的时候会凝结成露水附在零件表面，在绝缘体表面，便可能产生沿面放电从而致使击穿事故的产生。
在电弧作用下，sf6会分解，因为水分会使得低氟化物的水解速度加快，生成剧毒气体sof2。在0℃的时候，sof2和水的反应很慢，但是它和溶于hf中的水可发生瞬时反应，生成so2以及hf水分的增加也会使得反应速度加快。
纯sf6化学性质稳定,微溶于水.理论上没有毒性.但是电器设备内的凯发·k8国际(中国)首页登录气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物.如下：
氟化亚硫酰（ sof2 ）
无色剧毒气体,能侵袭肺部,引起肺组织急性水肿,影响气体交换,使肺部缺氧充血而导致窒息性死亡,它有强烈的恶心臭味,可作为警告信号之用.白鼠和兔子的致死浓度为 10 × 10 -6 和 50 × 10 -6 （ v/v ）。
氟化硫酰（ so2f2 ）
挛性化合物,无色无臭,在较高浓度下对肺组织有刺激作用,引起肺泡出血.白鼠和兔子的致死浓度为 200 × 10 -6 和 400 × 10 -6（ v/v ）。
四氟化硫（ sf4 ）
无色气体,有类似 so2的刺激性臭味,毒性与光气相当,对肺有侵害作用。
二氟化硫（ sf2 ）
沸点 35 ℃,极不稳定,受热后更加活泼,易水解生成 s 、 o2 、 hf 等,其毒性于 hf 相当。
氟化硫（ s2f2 ）
常温下为无色气体,具有很强的毒性,遇水后生成 hf ,对呼吸系统有类似光气的破坏性作用。
氟化氢（ hf ）
无色气体或液体,具有强烈的刺激性臭味,极易溶解于水,形成氢氟酸,对一般材料具有较强的腐蚀性.hf 对皮肤、粘膜有强烈的刺激作用,并能引起肺水肿、肺炎等。
十氟化二硫（ s2f10 ）
常温常压下为无色易挥发液体,系剧毒物质,毒性约为 sof2 的 300 倍.s2f10主要侵袭肺住址,引起肺出血和肺水肿.白鼠的致死浓度为 1 × 10 （ v/v ）。
三氟化铝（ aif3 ）
白色粉末状,通常吸附了大量的有毒气态分解产物,故应被视为具有强烈腐蚀性和毒性的物质.alf3 粉尘可刺激皮肤引起皮疹,对呼吸系统及肺部均有侵袭作用。
十氟化二硫一氧（ s2f10o ）
剧毒物质,对肺组织强烈侵袭作用.白鼠的致死浓度为 20 × 10 （ v/v ）。
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