电子质量气体具有大流量、连续稳定传输的发展趋势，从而满足大型量产工厂对电子质量气体大流量、持续稳定传输的要求，是一个挑战。
电子气体倾向于集中供应，特殊气体放置在气室中。根据机器的流量要求合理配置输送系统的数量。专用输气设备必须采用全自动切换供气，并设计更多备用设备。对于低蒸气压气体（wf6、dcs、bcl3、c5f8、clf3等），有必要进行气缸加热、气板加热、管道跟踪等。考虑到，为了精确控制流量，一般假设采用高精度压力变送器、电子天平、温度控制器等。在空气源的末端。机器的气体消耗点也配有质量流量计。
对于高流量bsgs，不仅应考虑管道压降和液体钢瓶的蒸发吸热对流量的影响，还应考虑通过压力控制阀减压后的电子质量气体的焦耳-汤普森效应。通常，减压后气体的温度降低或甚至液化。这会导致输送压力不稳定并损坏管道系统。因此，有必要考虑在减压前预热气体。气体监测系统（gms）通过计算机网络实现对输气系统的实时监测，以确保系统的稳定性。
对于液化气（如氨）的bsgs，开发并形成了直接加热液体的蒸发器系统，并将很快在bsgs的应用中推广。
