电子级硅烷气在半导体行业的应用
电子硅烷气主要用于半导体工业、显示面板工业、光伏工业、负极材料等。
电子级硅烷气（electronic grade silane）它是一种无色、非常活跃的压缩气体，在空气中自燃。
它被广泛使用，特别是在半导体行业中，电子硅烷气体起着至关重要的作用。在半导体行业中，
电子硅烷气体主要用于扩展沉积晶硅膜和生产多晶硅膜、一氧化硅膜和氮化硅膜。此外，它还
用于制作高纯多晶硅、二氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同
质硅扩展生长原料，以及离子注入源和激光介质。在光伏行业中，电子硅烷气体作用于光伏电
池生产减反射膜，对光伏电池的光吸收效率和电性能有重大影响。电子硅烷气体在显示面板行
业和负极材料领域也发挥着重要作用。
电子硅烷气的纯度一般在6n以上(99.9999%)，具有纯度高、无污染、对设备无腐蚀、控制精细
等优点，已成为其他硅源气体无法替代的重要特种气体。它不仅用于大型或超大型集成电路、
芯片等电子行业，还用于液晶显示器行业、薄膜太阳能电池行业、半导体led照明行业和低辐
射（low-e）镀膜玻璃等领域。
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