电子特气：半导体制造过程中的关键角色
电子特气（specialty gases）它是电子工业中使用的一种特殊气体，在半导体、集成电路、显
示面板、光伏等领域的生产过程中发挥着关键作用。电子特殊气体的分类方法多种多样，主要
有以下几种：
按纯度和应用领域进行分类。电子特性可分为高纯度气体和超大型集成电路（ulsi）这些气体
用于半导体制造中的掺杂、蚀刻、气相沉积等工艺过程。
根据功能进行分类。电子特气可分为稀释气体、化学气相沉积（cvd）气体、蚀刻气体、掺杂
气体、外延气体、离子注入气体等。
根据应用程序进行分类。电子特殊气体可分为平板显示气体、半导体气体、光伏气体和发光二
极管（led）在半导体制造中，这些气体用于环境气、保护气、载气等。
按组分分类。电子特气可分为氮氧化物、氢化物、氟碳、碳氧化物、氨化物、混合物等。
在实际应用中，电子特气的种类非常丰富，包括氨、氦、氧化亚氮、teos(正硅酸乙酯)、teb
(硼酸三乙酯)、tepo(磷酸三乙酯)、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六氟化钨、
六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等。这些气体在半导体制造中发挥着重要作用，影响着产品的性能
和质量。
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