六氟化硫气体无毒，但如果在填充过程中处理不当，则很容易泄漏。然而，如果泄漏且浓度过高，则非常危险。它们会导致不纯的气体和污染物。因此，必须加强这种气体的泄漏检测。
当气体中的水分超过规格时，当水分发生变化时，六氟化硫气体会凝结在固体绝缘表面上，导致表面变得潮湿。此时，设备的表面放电电压会受到影响，并出现显著下降。因此，在填充之前，应测量六氟化硫环境的相对湿度，湿度应在80%以下。如果测量不合格，采取行动或选择干燥天气进行填充。
此外，检测六氟化硫气体的常用方法包括：
电化学技术：当六氟化硫气体在约200°c的温度下接触高温催化剂时，发生化学反应，并改变电信号以确定气体是否泄漏。高压传播技术：主要利用气体绝缘，根据检测到的空气中高压电极之间的电压变化，评估空气中是否存在泄漏气体。红外光谱技术：气体对特定波段的红外光有很强的吸收。该方法具有成本高、结构复杂、灵敏度高、无环境干扰、检测误差小等优点。
为了及时清除和更换泄漏的高纯度六氟化硫，在加注时启动风扇，并仔细遵守规定。填充后，根据具体情况检查侧面和中间的侧面。
