六氟化硫气体无毒，但是在充装时，如果处理不当，就易发生泄漏。但当其发生泄漏，浓度过大时，就
非常危险。导致气体不纯，产生有害物质。因此，一定要加强该气体的泄漏检测。
如果气体中的水分超过规定，当湿度变化时，就可能出现六氟化硫气体凝结在固体绝缘表面，使该面变
潮的现象，这时设备的沿面放电电压就会受到影响，发生显著下降。因此，在充装开始前，要先测定六
氟化硫周围环境的空气相对湿度，空气湿度要保持在80%以下。测定如不合格，就要采取措施，或选择
干燥天气充装。
电化学技术：六氟化硫气体接触到200°c左右的高温催化剂时，发生化学反应，改变电信号，以此来发
现气体是否泄漏。高压击穿技术：主要是利用气体绝缘性，根据被检测空气中的高压电极间的电压变化，
判断空气中是否含有泄漏气体。红外光谱技术：气体对特定波段的红外光吸收性强烈。这种方法成本高，
结构复杂，灵敏度高，不受环境干扰，检测误差小。
为了使泄漏的高纯六氟化硫泄漏及时得到排换，在进行充装时，开启通风机，认真遵守规定。在充装后，
要进行检测，并视具体情况，于中途再检侧。
