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文章出处：责任编辑：人气：-发表时间：2022-12-19 10:26:00【】

电子工业：六氟乙烷作为等离子体蚀刻的工作气体，在微电子工业的发展中发挥着重要作用，是处理超大规模集成电路的必要介质；

2.制冷和空调行业：六氟乙烷用作制冷和空调的制冷剂。六氟乙烷也可以与hfc-23形成共沸物r-508b，这不会破坏臭氧层。r-508b在多级压缩循环的低温段中用作cf-13和r-503的替代品；

3.化学工业：六氟乙烷可作为化学反应中的氟化物添加剂；

4.能源工业：六氟乙烷可作为电气设备的绝缘剂和高介电强度的冷却剂；

5.其他：六氟乙烷可用于设备表面清洁和纤维生产。

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