（1）四氟化硫（sf4），在常温下为无色气体，有类似so2的刺激味道。在空气中能与水蒸气形成烟雾。sf4与水猛烈反应生成sof2和hf，与碱液反应生成氟化物和亚硫酸盐，遇浓硫酸会发生分解并放热。sf4易溶于苯，可用碱液或活性氧化铝吸收。sf4对肺有侵害作用，影响呼吸系统，其毒性与光气并列。sf6气体泄露检测系统原联邦德国和美国规定空气中允许浓度为0.1×106。
（2）氟化硫（s2f2），在常温下为无色、有类似scl2味道的气体；遇水蒸气能在30～40s内完全水解形成s、so2和hf；90℃开始分解，200～250℃反应加快；常温下不与fe、a1、si、zn反应，与水和碱激烈反应，与氨作用生成nh4f。s2f2易被活性氧化铝吸收。s2f2为有毒的刺激性气体，对呼吸系统有类似光气的破坏作用。
（3）二氟化硫（sf2），极不稳定，受热后更加活泼，易水解生成s、so2、hf。可用碱液或活性氧化铝吸收。毒性与hf近似，美国毒性基准规定为5×106。
（4）十氟化二硫（s2f10），为五氟化硫的二聚物，在常温常压下为易挥发性液体，无色、无臭、无味，化学性质上极稳定；在水和浓碱液中分解极慢，且不溶于其中；在200～300℃时即完全分解生成sf4和sf6。s2f10是一种剧毒物质，其毒性超过光气，主要破坏呼吸系统，空气中含1×106能使白鼠8h死亡。美国和联邦德国曾规定s2f10在空气中之允许浓度为0.025×106。（5）氟化亚硫酰（sof2），为无色气体，有窒息性味道。化学性质很稳定，在红热温度下仍不活泼，例如在125℃时不与fe、ni、co、hg、si、ba、mg，al、zn以及氯、溴、一氧化氮等物质反应。sof2可发生水解反应，并能在碱的酒精溶液中分解。它与水的反应在0℃时进行缓慢，然而它与溶于hf中的水可瞬时反应。sof2为剧毒气体，可造成严重肺水肿，刺激黏膜，当空气中含有1×106～5×106时即可觉察出刺激味道，并会引起呕吐。
（6）氟化硫酰（so2f2），无色无臭气体，化学上极稳定，加热至150℃亦不与水和金属反应。so2f2：被koh、nh4oh缓慢吸收，但不易被活性氧化铝吸收。苏打石灰（cao naoh）可吸收so2f2。so2f2是一种导致痉挛的有毒气体，可引起全身痉挛并麻痹呼吸器官、肌肉、使其失去正常功能而造成窒息。它与sof2不同，它的危险性尤其在于无刺激味道，且不引起眼、鼻、黏膜的刺激作用，故初始不易察觉，往往发现中毒之后会迅速造成死亡。我国规定空气中最高允许浓度为5×106。
（7）四氟化硫酰（sof4），与水反应生成so2f2并放出大量热；能被碱液吸收；对肺部有侵害作用。
（8）氟化氢（hf），对皮肤、黏膜有强刺激作用并可引起肺水肿、肺炎等；对设备材质有腐蚀作用。
（9）二氧化硫（so2），强刺激性气体，损害黏膜及呼吸系统，还可引起胃肠障碍，疲劳等症状。
（10）二硫化碳（cs2），无色或淡黄色透明液体，有强刺激性气味，易挥发，损害黏膜、神经和血管
