虽然六氟化硫（sf6）气体是惰性气体，本身无毒，但由于它比空气重4倍，在漏气点会把周围空间的空气 “挤走”。因此，一旦发现配电室或电缆沟内有大量六氟化硫（sf6）气体溢出，不得贸然进入，以免造成缺氧而室息。此时应首先开启门窗，启动通风装置，待充分换气，六氟化硫（sf6）气体排出后才可进去处理。
处理时应先使用专门的检漏仪测出漏气点。如果是管路元件漏气，可先关闭断路器出口阀门，使舱内气体不再外溢，然后放掉管路内的气体。修理漏气阀门以前，应使用无水乙醇
将密封面擦拭干净，检查有无影响密封性能的划痕或杂物颗粒，然后更换密封圈，紧固后开启出口阀门，重新检漏，直至故障完全排除。
如果是断路器本体漏气，而泄漏又比较轻微，可通过阀门补充气体。用钢瓶补气时，应将钢瓶斜放，使其阀门一端低于瓶底。这样，就可以保证瓶中的水分和空气杂质上浮，不致进入断路器内。补入的气量应保证断路器具有额定压力。如果漏气比较严重，一般不宜在运行中补气，而应尽快停电检修。
