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六氟化硫气体的充装
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发表时间:2023-06-08 14:36:03【 】
sf6
气体充装
1、设备抽真空至真空度为133pa,再继续抽气30分钟,停泵30分钟,记录真空度(a),再隔5小时,读真空度(b),若b—a的值小于133pa,则认为合格,否则应进行处理并重新抽真空至合格为止。
2、充
sf6气体
的所有管道应尽量采用不锈钢软管,连接部件均需根据需要用5%稀盐酸(体积)或5%稀缄(重量)浸洗,并用水冲净,风干后再用汽油或其它溶剂洗涤后,然后加热干燥,放在干燥的器具内备用。
3、设备充入sf6时气瓶应斜放,且瓶口要低于尾部(即以液态方式取气),以减少瓶中的水分、空气等进入设备;当气瓶压力降至0.1mpa,应停止使用。因为剩气中含水分及杂质较多;气体充装时,周围环境湿度应小于80%。充气前应用电吹风对管路接头加热吹拂干燥。
4、设备充气结束后,应用灵敏度优于1ul/l的sf6气体检漏仪对设备的所有连接部件进行检漏,要求设备的年泄露率不大于1%。
5、充气至额定工作压力后(应进行温度换算),停止充气。充装完毕24小时后,对设备中气体进行湿度测量,若超过标准必须进行处理,直至合格。
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六氟化硫行业产能及应用领域,半导体国产化带动电子级sf6需求
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