六氟化硫本身是有毒的，但它的重量是空气的五倍，而且经常积聚在附近的土壤上，容易稀释和扩散，而且令人窒息。有缺陷的泄漏可能导致低氧人员中毒和六氟化硫窒息。在电场中产生电晕放电时，会分解六氟化硫、硫酸盐、氟化物、二硫化物、二氧化硫、氟化硫和氢氟酸等十几种气体。这些含氟和硫化气体不仅有毒，而且含有大量腐蚀性六氟化硫。电气设备一旦发生故障，不仅会直接伤害人体，污染环境，还会影响工业生产效率，造成设备损失。
