当前位置： » 纽瑞德资讯 » 气体指南 » 氪气、氩气等高纯气体在真空涂层技术上的应用
文章出处：责任编辑：人气：-发表时间：2019-04-08 11:57:00【
】
真空涂层技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将cvd(化学气相沉积)技术应用于硬质合金刀具上。到了上世纪七十年代末，开始出现 pvd(物理气相沉积) 技术，为真空涂层开创了新天地，之后在短短的二、三十年间pvd 涂层技术得到迅猛发展。真空涂层技术发展到了今天还出现了pcvd(物理化学气相沉积)、mt-cvd(中温化学气相沉积)等新技术，各种涂层设备、各种涂层工艺层出不穷。随着技术的不断发展，对工艺气体如氪气、氩气、氢气等气体的需求不断增大。
现代涂层设备(均匀加热技术、温度测量技术、非平衡磁控溅射技术、辅助阳极技术、中频电源、脉冲技术) 现代涂层设备主要由真空室、真空获得部分、真空测量部分、电源供给部分、工艺气体输入系统、机械传动部分、加热及测温部件、离子蒸发或溅射源、水冷系统等部分组成。
工艺气体输入系统是真空涂层技术中非常重要的一环，主要会用的工艺气体，如氩气(ar)、氪气(kr)、氮气(n2)、乙炔(c2h2)、甲烷(ch4)、氢气(h2)、氧气(o2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外，更换气瓶时，必须保证所有主机都处于非用气状态。
真空涂层技术中使用的工艺气体对气体的纯度也有较高的要求，因此选择有质量保证的气体供应商就十分重要！纽瑞德长期供应99.999%的氪气、氩气、氮气、氢气、氧气等气体，各种包装规格满足您的使用要求，并拥有专业的物流团队为您全国配送哦~想了解各种气体价格，请随时联系客服小姐姐哦~400-6277-838
下一篇：2020年氦气价格有望回落？上一篇：氦气质谱检漏四大常用方法
此文关键字： 气体知识
