高灵敏度氦质谱检漏仪的噪声源一般可分为两种：一种是来自离子电流接收放大器输出电路的噪声，另一种是背景噪声。
事实上，通过改进电子电路，仪器中离子电流接收增益和输出电路引起的噪声已经降低到非常低的水平，从而不再是限制设备灵敏度的主要因素。如果在特殊情况下，它仍然是限制灵敏度的主要因素，则可以通过放大信号以提高信噪比来提高灵敏度。
背景噪声是由背景尖端的不稳定性引起的，这与背景的大小和电磁场参数的稳定性有关，包括：
1.离子源发射的电子流不稳定，加速电压不稳定，分析仪电磁参数不稳定；2.
氦气在真空系统中的吸收和再释放（如真空油脂、人造橡胶和有机绝缘材料可以吸收和释放氦气），电离真空计，特别是磁放电真空计对氦气的储存作用（污染时更严重）；3.
氦气在泵系统中的防扩散和氦气泵速度的不稳定性；4.氦质谱仪泄漏检测器本身泄漏以及氦气的渗透；5.氦离子被残余气体分子散射等。这些因素对背景噪声和灵敏度有显著影响。
