工艺系统目前主要用于泛半导体产业（集成电路、平板显示、光伏、led等等）和光纤、生物制药及食品饮料行业。
工艺系统的好坏会直接影响先进制造行业中工艺设备的运行及投产后的成品率。一个优秀的高纯气体工艺系统设
企业如沃飞，能通过控制高纯气体的纯度，实现其制程精度要求，保障并提升产品良率。
1、在泛半导体产业中高纯气体工艺系统的运用
高纯度的特种气体参与泛半导体行业集成电路制造的核心工艺流程：掺杂、光刻、刻蚀和cvd成膜工艺环节。
2、高纯气体工艺系统在光纤行业生产工艺流程中的应用
光纤产业链分为光纤预制棒制造、光纤拉丝和成缆三个环节，其中光纤预制棒制造是光纤制造技术的核心，其利润占整个光纤产业链利润总额的70%。光纤技术的每次进步都离不开光纤预制棒制造技术的相应发展。
在光纤预制棒制造工艺中，高纯气体工艺系统能将高纯特气、高纯大宗气体提纯原料输送到光纤预制棒制造过程中的芯棒制造、芯棒表面处理、外包层制造等核心工艺环节，从而精确控制光纤预制棒制造过程中的纯度，达到工艺精度要求并确保产品良率。
以上，是高纯气体工艺系统在泛半导体行业和光纤行业中的应用介绍和高纯工艺系统在这些行业中起到的重要作用
