如果发现其含量超过允许值，应采取有效措施，包括气体净化处理、更换吸附气体和六氟化硫气体、拆卸和维护设备等。六氟化硫装置的主要水源为：①新鲜气体六氟化硫中的水；② 设备组装过程中进入的水分；③ 固体绝缘物体释放的水分；④ 运行期间密封件渗水；⑤ 运行过程中多次充气和测试时产生的水分；⑥ 气室中的吸附剂失效。
目前，我国有三种仪器：电解水分仪、电阻电容露点仪和镜面露点仪，其中镜面露点仪精度最高，电阻电容露点仪测量范围最广，电阻电容露点仪现场操作最方便。目前，国内只生产电解水分仪，价格便宜；镜面露点仪和阻容式露点仪依赖进口，价格昂贵，约为国产露点仪的30倍，但使用方便，精度高。
六氟化硫气体泄漏检测分为定性检测和定量检测。定性检查是在设备各连接处的密封点直接检测铝铸件，找出设备各泄漏点的位置。定量检测是通过粘结检测、挂瓶法或压力转换计算泄漏量，以获得年度泄漏率。
定性泄漏检测包括真空泄漏检测和泄漏检测：
① 真空泵检漏方法是将设备真空至40pa，停泵0.5h，读取真空表上的数字a，停泵5h，读取数字b。≤133pa，假设密封良好；
② 检漏仪是将检漏仪探头沿设备各连接口表面和铝铸件表面移动，并根据检漏仪读数评估气体泄漏。
检漏仪检测泄漏时应注意：探头移动速度必须缓慢，以防探头移动过快，漏点丢失；检漏时，在高风速条件下，泄漏气体不得被风吹走，以免影响检漏。选用高灵敏度、低响应速度的检漏仪。检漏仪的最小检测量一般小于1ppm，响应速度小于5s。
定量检漏通常采用扣盖法、挂瓶法、局部捆绑法、压降法等方法。按钮盖方法适用于高压断路器和小型设备适合盖的情况。瓶悬挂法适用于法兰表面有两个密封槽的情况。局部粘接方法通常用于安装单元和大型产品。压降法适用于在机房漏风量较大或运行中测量漏风率。通常，六氟化硫工厂的转移验收试验使用局部粘合方法和带扣盖方法进行泄漏检测。
