在电子器件生产工艺中。广泛使用了各种高纯气体。按工艺中高纯度气体的不同用途，可将其分为保护气、反应气和载气。
用作保护气的有氢气、氮气、氧气及其混合气。在国内为获取氢气和氨气，为获得较高纯度的氢气，一般都采用电解纯水的方法制取。这种方法需用大量电能来电解水，一般达4.5~ 5.5kwh /nm3h2，致使成本很高。
为减少电能消耗，降低成本，都在研制和应用各种混合气。其中，以应用氮－氢混合气为最多。国外多采用液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气， 也有采用液氮分解法获得氮氢混合气的。
用液氢和液氮汽化来获得氮氧混合气的方法，由于采用了液化后再汽化的工艺，故其投资和成本均较高。 国外，由于生产的专业化程度高，使用单位多采用这种方法获得混合气。 国内若从专业厂或大型联合企业的副产物获得液氢和液氮，其成本要比电解氢和“空分”氮获得的氢气与氯气高出几倍。由液氨分解获得的氮氧混合气，由于液氮来源不同，大多数质量较差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等杂质。此外，液氮多来源于化肥厂，目前，供应上较紧张，故成本也较高。
氮氢混合气不仅可在生产电子器件时取代氧气用作保护气，还可广泛用于冶金、化工、机械等行业。 一旦广泛推广应用，必将产生可观的经济效益和社会效益。
