考虑到环境污染愈来愈严重，科学家积极且持续地在不同项目上发展绿色工艺。学者提出其中之一项，在工厂制程设备验证六氟化硫(sf6)回收系统，该系统除了具有经济效益，且能达到二氧化碳(co2)排放当量减量效果。这个工艺流程包含制程尾气的前处理，回收气体的分离、纯化、储存、供应；作为制程生产使用。
一般而言，全氟碳化物(perfluorocarbon pfc)减量的应用，包含有制程减量，其他低二氧化碳当量气体的取代，制程废气燃烧处理，以及本次所提的气体回收再利用。在这些方法中，工艺困难度最高的，属于回收再利用，因此在工业上的应用也很少有成功的案例。借由本文的讨论，提供面板厂，除了常用的制程废气燃烧处理方式之外，另一个在co2排放当量，有著相同处理效能的工艺设备选择机会。值得顺带一提，因为采取回收气体再利用，六氟化硫气体在消费工厂的整体使用量减少，所以在製造工厂因相对减产，造成co2排放量当量减少的效益，有别于消费工厂利用制程废气燃烧处理方式者。
在实验过程中，数据表明其中经dry etching制程，sf6裂解率一般而言在40%~60%，残存的sf6若使用回收处理设备将可进一步回收使用；若使用燃烧式处理设备，则是直接将sf6燃烧，较不经济。更进一步讨论，未来如尝试改变适当的制程条件，在相同的sf6製程用气量前提之下，著眼于提高可回收的sf6气量，或许将可达到更高的经济效益，这个可行性，则有待未来再进一步深入的研究。
经过一系列的实验，学者对于六氟化硫(sf6)回收系统得出这样一个结论：
(1)整体回收纯化系统进口的规格管制；虽然回收系统主要是去除不纯物为主，但腐蚀性的有害物质，必须设置前处理设备，防止纯化设备被破坏。
(2)目前的回收设备初设成本较高，因此在sf6的用量须达一定规模，较具回收经济效益。
(3)回收气体中大部分是氮气，若能予以减量，可降低成本。
