由于气体分为简单气体、多组分气体、混合气体和有机化合物气体，构成气体的物质（或元素）可称为气体组分。因此，气体纯度的含义可以理解为除气体成分外还包含许多其他物质。例如，氮的纯度是指除n组分外，o2、h2、ar、co2、h2o、金属和灰尘颗粒等杂质的量；氨的纯度是指除nh3外，o2、n2、co2、h2o和灰尘颗粒等杂质的量；另一个例子是氮气和氦气的混合物，它指的是n2和he组分旁边的杂质量，如o2、co2、h2o尘埃颗粒。
参考气体纯度的方法有很多，如普通清洁气体、高纯度气体、电子清洁气体、超纯气体等。随着超大集成电路（vlsi）和超大规模集成电路（ulsi）的发展，出现了vlsi和ulsi级的纯气体。这些公式并不十分准确，但它们只给出了气体纯度的粗略描述，而不是气体纯度的大小。有两种主要方法可以准确地表示气体的纯度。即：
1.以百分比表示，如99%、99.5%、99.9%、99.999%、99.9999%、99.999%、99.999 9%、99.99 9%、99.99.999%等。
2.使用“n”显示，如3n、5n、4.8n、5.5n、6n、7n等。数字n对应于（1）中的数字“9”，小数点后的数字表示小于“9”的数字。例如，4n（99.99%）6n（99.9999%）7n（99.999%）4.8n（99.998%）5.5n（99.99.95%）等。
根据气体纯度的不同，气体纯度一般分为四级，即普通气体、纯气体、高纯度气体和超高纯度气体。下表显示了气体纯度和设备生产工艺的应用。
