韩国稀有气体“氖”成功实现国产化！|气体指南-凯发k8国际首页登录

氖气是空气中含量仅有0.00182%的一种稀有气体，是半导体曝光工艺中使用的准分子激光气体的原料之一。过去，全部进口并依赖外国技术，由于贸易争端导致价格飙升和供应短缺，韩国曾试图将产品本地化。此次建成的装置每年可生产约22000nm3高纯氖气，预计可满足国内需求的16%。posco于去年年底完成了产品质量评估，今年将完成设施竣工并正式开始商业生产。作为成功完成课题的奖励，temc获得了初期投资金的全部补偿，并取得了posco氖气的长期购买权。

浦项制铁1月12日在光阳工厂制氧厂举行了“氖气生产设备竣工和发货仪式”，该项目由韩国钢铁制造商浦项制铁(posco)与半导体专用气体公司temc合作。从2019年底开始推进氖气生产的完全国产化约两年。公司采用大型空分装置，以光阳制氧厂和temc技术为基础，自主开发了国内首个氖气生产设备。在韩国首次将半导体用稀有气体氖（ne）的生产设备和技术本地化，并交付了第一批产品。temc利用自有技术对提取的氖气进行提炼后，完成了准分子激光气体生产全过程的国产化。